EBARA 荏原干式真空泵EST500WN

EBARA 荏原干式真空泵EST500WN

EST 型 干式真空泵能夠處理反應副產物并排出大流量氣體 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 能夠在重負荷下進行處理 在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL

EST 型號使用螺桿式轉子，并配備了高溫功能，可將泵中的氣體保持在高溫，使其非常適合 CVD 等形成反應副產物的應用。 標準使用耐腐蝕材料，實現高抽速和高流量泵送，減少停機時間并有助于提高工藝效率。